一、产品介绍
Keithley 2657A 是泰克旗下吉时利 2600A 系列的高压大功率源测量单元（SMU），主打3000V 高电压、180W 功率、飞安级低电流测量，专为功率半导体与宽禁带器件的精密测试设计，单台集成多仪器功能，适配研发、量产与可靠性测试场景。
二、主要参数
1. 输出能力（四象限源 / 负载）
最大电压：±3000V（20mA）、±1500V（120mA）
最大电流：±120mA（1500V 量程）、±20mA（3000V 量程）
最大功率：180W（直流 / 脉冲）
极性：四象限（可源 / 可吸收功率）
2. 测量精度与分辨率
电流分辨率：1fA（飞安级）
电压分辨率：100nV
测量位数：6½ 位
ADC 架构：双 22bit（高精度静态）+ 双 18bit/1μs（高速瞬态）
基础精度（典型）：
电压：±0.025% 读数 + 600μV（3000V 量程）
电流：±0.1% 读数 + 6pA（1nA 量程）
3. 功能与接口
集成功能：精密电源、电流源、6½ 位 DMM、任意波形 / 脉冲发生器、电子负载、触发控制器
扩展：TSP‑Link 多通道同步、兼容 2651A（大电流 SMU）与 4200‑SCS 半导体参数分析仪
软件：内置 TSP® Express、LabVIEW 驱动、Test Script Builder
三、应用场景
1. 功率半导体器件测试
器件：MOSFET、IGBT、高压二极管、晶闸管
项目：击穿电压、漏电流、正向压降、阈值电压、输出 / 转移特性
2. 宽禁带半导体（GaN/SiC）
场景：新能源汽车、光伏、工业电源器件研发与量产测试
需求：高压低漏电、高速瞬态（如开关特性）、高温反偏（HTRB）可靠性评估
3. 高压元件与材料
无源器件：高压电容、电阻、绝缘材料的漏导与耐压测试
光电器件：高压光电二极管、PMT、闪烁体的 I‑V 与击穿特性
4. 其他高压低电流应用
纳米电子：纳米线 / 管、二维材料（石墨烯、MoS₂）的高压输运测量
电源与模块：DC‑DC、高压电源、电池 / 超级电容的高压特性与漏电分析
