关键光学参数
波长范围：175–1100 nm（深紫外到近红外，可低至 153 nm）
探测器：滨松 Hamamatsu S10420 背照式 2D FFT-CCD（无制冷）
像素：2048 × 64（有效），14 μm 像素尺寸
量子效率：最高 75% @250 nm（深紫外优秀）
积分时间：17 ms – 10 s
信噪比（SNR）：450:1
动态范围：>10,000:1（优于普通 Maya2000）
光学分辨率：~0.035 nm（取决于光栅 / 狭缝，最高可到 0.035 nm）
狭缝可选：5/10/25/50/100/200 μm
光栅：14 种可选（含全波段复合光栅）
