一、基础信息
型号:4200-SCS(日常简称 4200,4200TM 代表带触控显示屏版本主机)
品牌:吉时利 Keithley(现归属泰克 Tektronix)
设备类型:模块化半导体参数分析仪主机
产品状态:原厂停产,换代机型 4200A-SCS;二手市场存量很大
架构:内置工控电脑,9 插槽机箱,可插拔 SMU、CVU、PMU 各类测试模块
二、主机硬件配置
系统平台:内置 Windows 系统,搭载 KTEI 交互式测试软件
显示区分
标准版 4200:外接显示器
4200TM:集成内置触控液晶屏主机
插槽:最多支持 9 张插入式测量模块
通讯接口:LAN、USB、GPIB,支持探针台联动、自动化程控
供电:交流宽电压输入,机架台式一体机箱
三、可搭载主流模块
4200-SMU:中功率源测量单元(I-V 测试)
4200-PA:前置放大器(扩展至 aA 级微弱电流)
4210-CVU:C-V 电容电压测试模块
4225-PMU:超快脉冲 I-V 模块
四、整机核心测试能力(搭配模块后)
I-V 直流特性:电压 ±210V;电流最低10aA超高灵敏度
C-V 电容测试:1kHz~10MHz,MOS 器件栅特性分析
脉冲 I-V:避免器件自热,用于存储器、功率器件测试
支持四线开尔文测量,适合晶圆、低漏电半导体器件
五、典型应用场景
MOSFET、BJT、二极管晶体管 I-V、C-V 参数表征
存储器 Flash、RRAM、功率半导体器件特性测试
光伏电池、光电探测器、传感器电学测试
纳米材料、二维材料、MEMS 器件科研测量
半导体晶圆探针台自动化测试系统


