产品详情
一、基础信息
型号:PXIe-1062Q(8 槽 PXIe 机箱)+ PXIe-4141(4 通道 SMU 模块)
品牌归属:NI(National Instruments 美国国家仪器)
设备类型:模块化多通道半导体 I-V 自动化测试整套平台
归类:精密直流半导体测试系统(整套一体化测试平台;PXIe-4141 为中功率源测量单元 SMU(源表))
平台组成说明:
PXIe-1062Q:8 槽 3U PXI Express 机箱(系统硬件底座,提供电源、背板总线、时钟同步、散热)
PXIe-4141:4 通道精密 SMU 插卡,机箱内必须搭配PXIe 系统控制器(外置 MXI 控制器 / 嵌入式控制器)才能整机运行
用途:搭建并行自动化 I-V 测试系统,同时实现 4 通道器件直流激励与同步电参数采集,完成半导体器件静态特性扫描、漏电测试、功耗测试,适配实验室器件表征与芯片量产自动化测试。
二、整套平台核心硬件参数
PXIe-1062Q 机箱参数
插槽规格:8 槽 3U 机箱(1 系统控制器槽 + 4 路 PXI 槽 + 2 路 PXIe 混合槽 + 1 路系统定时槽)
背板带宽:单槽最高 1GB/s,整机总带宽 3GB/s
内置时钟:10MHz/100MHz 低抖动参考时钟,支持模块硬件同步触发
整机供电:354W 工业电源,智能温控低噪音风扇
外形:台式 / 支持 19 英寸机架安装
PXIe-4141 SMU 模块参数
通道数量:4 路独立四象限 SMU 通道
电压范围:±10 V
电流范围:±100 mA
单通道功率:源出 / 吸收最大 1W
电流测量灵敏度:10 pA
测量方式:四线远程感应 Remote Sense,消除引线压降误差
核心技术:SourceAdapt 负载自适应,抑制振荡、提升测量稳定性
三、整套平台功能特性
4 通道并行独立测试,单台模块同时测试多引脚器件,大幅提升测试效率
四象限双向源表,既可输出电压 / 电流激励,也可吸收负载回馈电流
硬件同步时序引擎,可后续扩展开关矩阵、数字化仪,搭建综合性测试系统
配套 LabVIEW、Python、C/.NET 驱动,快速开发自动化 I-V 扫描程序
内置过压、过流保护,防止静电、误操作损毁被测芯片 / 器件
平台可灵活扩容:机箱空余插槽可继续增加多张 PXIe-4141,扩展至 8/12/16 通道
四、典型应用场景
二极管、MOSFET、三极管分立器件 I-V 特性曲线测试
光电探测器、硅光芯片、MEMS 传感器静态电学参数表征
IC 芯片开短路测试、阈值电压、静态功耗、漏电流检测
微型光伏器件、薄膜材料电学特性研究
半导体产线多通道并行自动化电性能测试