一、基础信息
型号：F-712.HA1
机身序列号：F712B0002
构成：H-811 六足并联位移台 + P-616 NanoCube 压电纳米定位单元（粗精一体六自由度定位机构）
二、核心参数
自由度：X/Y/Z 直线 + θX/θY/θZ 角度，6 轴同步运动
直线行程：X ±6.5 mm，Y ±16 mm，Z ±8.5 mm
角度行程：θX ±14.5°，θY ±10°，θZ ±10°
压电精调行程：XYZ 100 μm，闭环分辨率 2.5 nm
三、用途
硅光芯片、光纤阵列、光子器件主动光路耦合对准；台账限定分类：测角位移台
