一、C-887.521 控制器说明
C-887.52x 系列为 PI 六足位移台专用台式数字控制器
C-887.521 型号特征：
控制 H-811 六足并联平台（6 轴），额外支持 2 路伺服附加轴
通讯：TCP/IP、RS232
自带模拟量输入接口（光纤对准系统关键，接收光功率计模拟信号）
笛卡尔坐标系直接控制，支持自定义旋转支点
内置光纤对准扫描固件，搭配 F-712.HA1 实现高速寻光对准
型号区分速览
C-887.52：基础版
C-887.521：基础 + 模拟输入（F-712.HA1 标配）
C-887.522：基础 + 急停
C-887.523：基础 + 模拟输入 + 急停
二、F-712.HA1 平台核心参数（单面倾斜式）
1）粗动 H-811 Hexapod（六足）
行程：
X：±6.5 mm｜Y：±16 mm｜Z：±8.5 mm
Rx (θX)：±14.5°｜Ry (θY)：±10°｜Rz (θZ)：±10°
最小增量运动：0.1 μm
2）精动 P-616 NanoCube®（压电纳米台，XYZ 三轴）
闭环行程：100 μm
闭环最小步距：2.5 nm
双向重复精度：2 nm
驱动：PICMA® 全陶瓷压电促动器
3）对准性能（系统整体）
10μm 直径螺旋扫描寻光：＜0.2 s
梯度搜索光功率优化：＜0.3 s
多通道光纤自动对准可低至 0.2 秒
自带防碰撞位置传感，保护硅光子晶圆
三、结构特点
✅ 单面倾斜低剖面构型（HA1=Single-sided tilted）
适合硅光子晶圆探针、芯片边缘耦合；
同系列对比：
F-712.HA1：单面倾斜
F-712.HA2：双面倾斜
F-712.HU1：单面直立式
四、典型应用
硅光子芯片（SiPh）晶圆级测试、封装
PIC 光子集成电路、光纤阵列 FA 对准耦合
透镜、准直器、平面光波导 PLC 自动耦合
高速多通道光纤自动化耦合产线
五、配套软件
PIMikroMove（上位调试软件）
PILightning 高速寻光固件（选配，大幅提升首次寻光速度）
SDK 支持 LabVIEW、MATLAB、Python、C/C++
