一、基础信息
品牌沿革：Keithley 吉时利，后被 Tektronix 泰克收购
产品状态：已停产，二手市场流通量大，2600A 系列双通道高压系统源测量单元 (SMU)，支持校准维护
设备定位：台式双通道独立数字源表，集成精密电压源、电流源、6.5 位万用表、脉冲发生器、电子负载一体；两路通道相互独立，支持同步 / 异步测试，主打 200V 高压器件双通道 I-V 自动化测试，兼容半导体、光电元器件研发与产线 ATE 系统
整机形态：台式整机，支持面板手动操作，TSP-Link 总线可多台级联扩展通道
供电规格：100~240V 交流自适应供电
二、核心规格参数
显示分辨率：6.5 位
通道配置：双通道（CH A、CH B）完全独立 SMU 通道
单通道连续直流功率：30.3W
电压量程：±200mV ~ ±200V
直流电流量程：±100nA ~ ±1.5A；脉冲模式最高 10A
测量下限：电流低至 1fA
工作模式：四象限源 / 阱双向输出
测量模式：2 线本地测量、4 线远程感应测量
采集速率：最高 20000 读数 / 秒
通道同步精度：＜500ns
通讯接口：LAN (LXI)、GPIB、RS232、前置 USB 存储、TSP-Link 同步触发接口
内置功能：TSP 嵌入式脚本处理器、Contact Check 接触检测
三、核心性能参数
双通道互不干扰，可独立驱动样品，也可高精度同步扫描，适配高压双端器件差分测试
四象限双向工作，既能输出激励电压电流，也可吸收电流充当电子负载，完整采集器件击穿、I-V 特性曲线
可编程电压、电流软硬双重限值，防止高压二极管、光电芯片过压损坏
内置数字滤波，抑制电磁噪声，兼顾稳态测试与微弱漏电流测量
Contact Check 接触检测功能，自动识别探针、线缆虚接，避免无效测试数据
支持直流连续扫描、脉冲测试模式，降低被测器件发热
支持前后端子切换，兼顾桌面研发调试与机柜自动化集成
代码向下兼容早期 2600 系列源表，方便旧测试系统升级替换
四、内置标准测量功能
直流电压、直流电流、电阻测量
电压扫描、电流扫描，生成器件 I-V 特性曲线
连接状态自动检测、测试异常告警
连续数据记录、超限判定、测量数据统计运算
四线制测量消除引线压降带来的测量误差
支持 TSP 本地脚本、SCPI 远程程控，实现大批量器件自动化分选测试
五、硬件接口与操控
前面板：真空荧光显示屏、功能按键、调节旋钮、双通道 A/B 测量端子、前置 USB 接口
背板：电源输入、LAN 网口、GPIB、RS232 通讯接口、TSP-Link 拓展接口、数字 I/O 触发、后置测量端子
操控方式：面板按键本地操作，GPIB/LAN 远程程控
机箱规格：标准台式机箱，支持 19 英寸机柜上架
六、典型应用场景
高压二极管、TVS、压敏电阻双通道 I-V 击穿测试
光电探测器、高压光电器件电学特性表征
MOSFET、IGBT 低压 / 高压分立半导体器件测试
传感器、无源高压元器件可靠性老化测试
半导体实验室、元器件工厂双通道高压自动化测试平台
