一、基础信息
品牌沿革:Keithley 吉时利,后被 Tektronix 泰克收购
产品状态:6200 系列精密低噪声电流源,市面流通稳定,支持校准维护
设备定位:台式可编程交流 + 直流精密电流源,不属于 SMU 源表,仅提供电流激励,无内置电压测量;超高输出阻抗、超低电流噪声,常搭配 2182A 纳伏表组成测试系统,实现 Delta 模式电阻测量、霍尔测试、微分电导测试,面向新材料、半导体、超导科研测试
整机形态:台式整机,支持面板本地操作;内置触发链路,可与 2182A 纳伏表硬件同步联动
供电规格:100~240V 交流自适应供电
二、核心规格参数
直流输出范围:100fA ~ ±100mA
交流输出范围:4pA ~ 210mA(峰峰值)
输出频率区间:1mHz ~ 100kHz
输出更新速率:10MHz
顺应电压(Compliance):0.1V ~ 105V,10mV 步进可调
最大输出功率:11W
输出阻抗:>10¹⁴Ω(小电流量程)
波形类型:直流、正弦波、方波、斜坡、自定义任意波形、脉冲输出
脉冲宽度:5μs~12ms 可编程
存储容量:65000 点波形 / 扫描序列
通讯接口:GPIB、RS232、LAN 以太网、数字触发 I/O
输出端子:三同轴屏蔽输出端口,支持防护驱动,抑制微弱电流漏流
三、核心性能参数
超高输出阻抗设计,负载变化时电流高度稳定,适合高阻抗样品微弱激励测试
同时支持直流稳态、交流正弦激励、脉冲电流、任意波形输出,兼顾静态与交流特性表征
独特 Delta 测试模式:与 2182A 纳伏表硬件联动,自动切换电流正负向,消除热电势温漂误差,实现超低阻值高精度测量
窄脉冲输出能力,降低被测样品持续发热,避免超导、低维材料热效应干扰测试结果
内置多档硬件滤波,有效抑制线路噪声,保障 pA 级微弱电流稳定输出
支持大范围电流扫描,机内存储波形序列,脱离电脑完成自动扫描测试
兼容 Keithley 220 电流源仿真模式,原有老旧测试程序无需大幅修改
四象限源 / 阱工作模式,可吸收样品回馈电流,适配有源器件测试
四、内置标准功能
直流 / 交流电流扫描、阶梯电流输出
脉冲电流激励、任意波形发生
Delta 差分电阻测量(联动 2182A 纳伏表)
霍尔效应测试配套电流激励
连续时序测试、触发同步控制
支持 SCPI 程控,搭建自动化材料电学测试平台
五、硬件接口与操控
前面板:真空荧光显示屏、功能按键、调节旋钮、输出启用开关
背板:三同轴输出端子、电源输入、GPIB、RS232、LAN 网口、触发链路接口、数字 I/O
操控方式:前面板本地操作,LAN/GPIB/RS232 远程程控
机箱规格:标准台式机箱,支持 19 英寸机柜上架
六、典型应用场景
二维材料、碳纳米管、导电薄膜电阻率、微分电导测试
超导材料临界电流、电输运特性表征
霍尔效应测试、半导体晶圆载流子迁移率测量
传感器、光电元器件微弱交流阻抗特性测试
低阻材料、精密电阻超低温度漂移测量
高校物理实验室、新材料研究院低电平电学表征





