一、基础信息
品牌沿革:Keithley 吉时利,隶属于 Tektronix 泰克集团
产品状态:经典交直流超低噪声电流源,已停产,二手流通量大,支持计量校准
设备定位:独立整机可编程交直流电流激励源(四象限源 / 阱);内置波形发生器,可输出直流、交流、脉冲、任意波形电流;本机无内置电压测量单元,常搭配 2182A 纳伏表组成 Delta 测试系统,消除热电势误差;支持前面板本地操作,支持远程程控自动化测试
整机形态:标准台式机箱,VFD 显示屏;背板 Triax 三同轴带 Guard 屏蔽输出端子,抑制微弱信号漏电流
二、核心规格参数
输出模式:直流电流 + 交流电流 + 脉冲电流 + 任意波形
直流电流范围:100fA ~ 100mA
交流电流范围:4pA ~ 210mA(峰峰值),频率 1mHz ~ 100kHz
输出阻抗:>10¹⁴Ω(小电流量程),负载波动下电流高度稳定
合规电压:0.1V ~ 105V,10mV 步进可调电压限值
最大输出功率:11W,四象限工作,可吸收电流充当电子负载
波形内存:64000 组点位,支持自定义电流扫描序列
最小脉冲宽度:5μs 窄脉冲输出
通讯接口:GPIB、RS232、以太网 LAN、触发同步链路、数字 IO
特色功能:Triax 三同轴 Guard 驱动、Delta 模式联动、220 仪器指令兼容仿真
三、核心性能参数
超低电流噪声,三同轴屏蔽端口设计,有效抑制线缆泄漏电流,适配高阻抗样品微弱激励测试
对比 6220(仅直流),6221 新增交流电流与内置 AWG 波形发生器,同时搭载网口远程控制
窄脉冲输出模式降低器件自热效应,适合热敏材料、纳米器件表征
可与 2182A 纳伏表硬件联动,运行 Delta 测量模式,消除回路热电势,实现超高精度低阻测量
支持线性、对数、自定义列表扫描,适配直流 I-V、交流阻抗、微分电导测试
完备硬件保护,可设置电压上限,防止被测器件过压损坏
外部触发接口,可联动探针台、矩阵开关实现批量自动化测试
四、内置标准功能
稳定直流恒流输出、脉冲电流输出
正弦波 / 方波 / 三角波 / 任意交流电流波形输出
线性 / 自定义电流扫描序列执行
四象限源 / 阱模式切换、输出通断控制
时序可编程电流输出、外部硬件同步触发
联动 2182A 纳伏表实现 Delta 模式精密电阻测量
五、硬件接口与操控
前面板:VFD 显示屏、功能按键、量程切换、输出控制旋钮
背板:Triax 三同轴输出端子、LAN、GPIB、RS232、触发端口、数字 IO、电源接口
操控方式:前面板本地手动操作;电脑远程程控控制
安装规格:标准台式机箱,支持 19 英寸机架安装
六、典型应用场景
霍尔效应测试、二维材料、薄膜电阻率表征
半导体器件交直流电学特性、微分电导测试
超导材料临界电流测试
光电传感器、MEMS 器件微弱电流激励实验
高校凝聚态物理、微电子科研实验室、计量测试平台


