一、产品概述
6221 属于 6200 系列超低噪声交直流精密电流源，不属于 SMU 源表，专注微弱电流激励。支持直流、交流、脉冲、任意波形电流输出，具备超高输出阻抗，最小可输出 100 fA 直流电流。常搭配 2182A 纳伏表组成 Delta 测试系统，实现超低电阻、微分电导、霍尔效应精密测量，是纳米材料、二维器件、半导体低电平表征主流科研仪器。
二、核心技术参数
✅ 电流输出规格
直流电流范围：100 fA ~ 100 mA
交流电流范围：4 pA ~ 210 mA（峰峰值）
频率区间：1 mHz ~ 100 kHz
最小脉冲宽度：5 μs
遵从电压（Compliance）：0.1 V ~ 105 V，4 象限源 / 阱工作
最大输出功率：11 W
输出阻抗：＞10¹⁴ Ω（小电流量程）
内置 64K 点波形存储，支持自定义电流扫描
三、关键特性
超低噪声电流激励，三同轴防护输出接口，抑制微弱电流测试漏流
内置任意波形发生器，支持正弦波、方波、三角波、自定义波形输出
独有 Delta 模式联动功能，搭配 2182A 纳伏表消除热电势干扰，测量区间 10 nΩ ~ 200 MΩ
支持窄脉冲输出，降低脆弱器件测试自发热
通讯接口：LAN、GPIB、RS232、触发链路、数字 I/O
兼容 Model 220 指令仿真，原有测试程序便捷迁移
内置过压、过流、过热多重保护，保护高灵敏待测器件
四、典型应用场景
二维材料、石墨烯、超导薄膜电阻率、霍尔效应测试
纳米器件、有机半导体微分电导、脉冲 I-V 特性表征
光电探测器、传感器微弱电流交流激励测试
低阻薄膜、金属材料超低电阻精密测量
科研实验室交流阻抗、微弱信号物性测试
