一、产品概述
4210-SMU 是适配4200A-SCS 半导体参数分析仪的插件式大功率 SMU 模块，标准大功率直流源测模块，支持四象限源 / 阱工作。主要用于器件导通特性、低阻器件大电流直流 I-V 扫描，可搭配 4200-PA 远端前置放大器拓展微弱电流测量能力；仅支持直流测试，无脉冲功能。同系列增强容性负载版本为 4211-SMU。
二、核心技术参数
✅ 模块规格
电压范围：±210 V
电流范围：±1 A
直流最大功率：21 W
基础电流下限：100 pA
选配 4200-PA 远端前置放大器：最低测量电流 10 aA
四象限源 / 负载双向工作
配备迷你三轴接口（Force、Sense、Sense LO），支持 2 线 / 4 线开尔文远端感应测量
标准负载耐受，适合常规线缆、探针台测试系统
三、关键特性
大功率直流 SMU 模块，单机箱最多可搭载 9 块，实现多通道同步测试；
支持线性扫描、对数扫描、分段列表扫描、应力 - 测量循环测试；
由 Clarius + 软件统一管控，内置 MOSFET、二极管等标准器件测试模板；
可外接 4200-PA 前置放大器，将微弱电流测量放置探针端，降低线缆泄露；
可编程过压、过流、过热保护，防止待测器件静电与电应力损坏；
可选现场升级型号 4210-SMU-R，无需返厂即可加装至现有 4200A-SCS 主机。
四、典型应用场景
MOSFET 导通电阻（Rdson）、输出特性 Id-Vds 测试
功率二极管、BJT 直流正向特性表征
低阻薄膜、金属材料方块电阻、欧姆特性测试
光电探测器、大功率有源器件直流 I-V 测试
晶圆探针台器件静态特性、可靠性直流应力实验
