一、产品概述
4200A-CVIV 是4200A-SCS 半导体参数分析仪专用外置多路切换附件（Multi-Switch），独立小型机箱单元。核心解决 SMU（I-V 三同轴接口）与 CVU（C-V 同轴接口）硬件接口不兼容问题，实现同一探针、同一待测器件无需抬针、重新接线，程控自动切换直流 I-V 测试与电容 C-V 测试。广泛搭配晶圆探针台搭建 MOS、存储器件全自动 I-V+C-V 联合测试系统。无法独立工作，必须配合 4200A-SCS 主机、SMU 模块、CVU 模块配套使用。
二、核心技术参数
✅ 基础规格
通道数量：4 路器件端子通道
直流耐受电压：最高 ±210 V
持续电流上限：±100 mA
兼容模块：4200‑SMU / 4201‑SMU / 4210‑SMU / 4211‑SMU、4210‑CVU / 4215‑CVU
支持器件：二端、三端（MOSFET）、四端器件
控制方式：Clarius + 软件程控自动切换；自带彩色液晶显示屏实时显示通路状态
接口：三同轴 Triax（SMU 通路）、SMA（CVU 通路）、待测器件输出三同轴端口
供电：USB 线缆由 4200A-SCS 主机供电，无需外接电源
三、关键特性
I-V / C-V 无缝自动切换，探针无需抬起，消除抬针引入的接触误差，大幅缩短测试循环耗时；
支持将 C-V 测量通路动态分配至器件任意引脚，三端 MOS 轻松实现栅、源、漏任意组合 C-V 测试；
内置寄生参数补偿方案，保障 fA 级微弱电流、fF 级电容测量精度；
前面板彩色显示屏，通道名称自定义，方便现场调试、故障排查；
支持偏置 Tee 功能，可实现宽禁带器件最高 400V 差分偏置 C-V 测试；
多重硬件保护：过压、静电、电弧防护，防止待测器件损坏；
完整集成至测试序列，可全自动对接探针台，实现无人值守晶圆测试。
四、典型应用场景
MOSFET、MOS 电容 I-V、C-V 一体化自动测试，提取器件模型参数
高 k 栅介质、薄膜材料漏电（I-V）与介电特性（C-V）联合表征
RRAM、FeRAM 存储器静态漏电、电容特性连续测试
SiC/GaN 宽禁带半导体栅极可靠性自动化实验
晶圆探针台全自动测试系统，减少人工改线、提升探针利用率
显示面板 TFT 阵列电学特性批量表征
