一、产品概述
是德科技（原安捷伦）**4155C 半导体参数分析仪，已停产**，入门级台式 IV‑CV 器件表征设备；内置 4 路中等功率源测量单元，主要用于晶圆、MOS 管、二极管、薄膜器件微弱电流‑电压、准静态电容‑电压测试，可搭配探针台完成晶圆在片测试Keysight。
二、核心技术参数
1. 硬件通道：4 路 MPSMU 中等功率源测量单元 + 2 路电压源 VSU + 2 路电压测量单元 VMU
2. 测量分辨率：电流 **10 fA**、电压 0.2 μV
3. 单通道基础范围：±100 V、±100 mA
4. 扩展模块 41501B：最高 ±200 V，±1 A，增加脉冲发生功能
5. CV 测量：支持准静态 QSCV 电容‑电压测试
6. 测试模式：扫描测量、旋钮手动扫描、器件应力可靠性测试
7. 配套软件：Desktop EasyEXPERT，内置 80 + 项预设半导体测试程序
8. 通信接口：GPIB、LAN，可对接半自动晶圆探针台实现整片映射测试
三、关键特性
1. 经济实用型半导体参数测试平台，适合实验室常规器件表征
2. 前面板旋钮扫描，操作直观，可快速输出 IV 曲线
3. 准静态 CV，可测量 MOS 栅氧化层电容特性
4. 器件长时间偏置应力测试，评估器件老化可靠性
5. 可外接 PC 控制，离线数据分析，自动生成晶圆映射图谱
6. 可后期加装 41501B 扩展单元，升级大电流、脉冲 IV 测试能力
四、典型应用
MOSFET、二极管、三极管直流 IV 特性；MOS 电容准静态 CV 测试；纳米薄膜、光电探测器微弱漏电测试；高校实验室半导体教学科研；晶圆厂小批量器件参数筛选。
