一、产品概述
是德科技 **B1510A（HPSMU）高功率源‑测量 / 监测单元，插卡式模块，停产**；专为 B1500A、B1505A 半导体参数分析仪主机配套的双插槽大功率 SMU 模块，四象限源‑测一体化，用于大功率半导体器件高精度 IV 直流表征测试。
二、核心技术参数
1. 输出电压范围：±200 V
2. 输出电流范围：±1 A（直流）；脉冲电流最高 3 A
3. 测量分辨率：电流 **10 fA**，电压 **2 µV**
4. 工作模式：4‑象限源‑测（Source/Monitor），可作为电压源测电流、电流源测电压
5. 占用主机插槽：2 个插槽位置
6. 测量速度：支持直流扫描、定点测量，兼容 EasyEXPERT 测试软件
7. 接口：模块后端总线接入主机，前面板三同轴测试端子
8. 系统兼容：B1500A 半导体器件分析仪、B1505A 功率器件分析仪主机
三、关键特性
1. 大功率输出同时保持 fA 级微弱漏电流检测能力，兼顾高压大电流与高精度小信号测量
2. 四象限工作，可实现器件正向偏置供电与反向吸收电流
3. 模块化可插拔，后期可自由搭配其他 SMU、脉冲模块、CV 电容测量模块
4. 超低噪声、优异的长期漂移性能，适合长时间可靠性老化测试
5. 完整支持 EasyEXPERT 数百套预置半导体测试脚本，程控指令兼容 B1500A 平台
四、典型应用
MOSFET、IGBT、二极管、晶闸管等功率半导体 IV 特性测试；宽禁带 SiC、GaN 大功率器件直流表征；光伏电池、光电材料高电压‑大电流测试；器件漏电、击穿电压、导通电阻测量；高校微电子、功率器件科研实验。
