吉时利(Keithley)6430 型 亚飞安远程源表是一款专为超低电流、超高电阻测量设计的精密仪器,融合了高精度电压 / 电流源、静电计和远程前置放大器功能,适用于半导体研发、纳米材料测试及能源存储等领域。以下是基于官方资料和行业应用的详细解析:
核心技术参数
测量功能与精度
电流测量:覆盖 10aA 至 105.5mA,分辨率达 10aA(10⁻¹⁸A),1 年基础精度 ±0.012%(1pA 量程)。
电压测量:范围 5μV 至 210V,分辨率 5μV,精度 ±0.02% + 600μV(200mV 量程)。
电阻测量:支持 100μΩ 至 21.1TΩ,6 线模式可消除引线电阻影响,手动模式下可测 <100μΩ 极低电阻。
温度测量:通过外接传感器(如热电偶)实现,精度 ±0.020°C(RTD)。
其他功能:支持频率(最高 15MHz)、周期、二极管测试及数学运算(统计、极限测试)。
速度与动态范围
高速模式:4 位半分辨率下 2000 读数 / 秒,6 位半模式下 520 读数 / 秒,内置 5000 读数缓冲区。
低噪声设计:1pA 量程 RMS 噪声仅 0.4fA,峰峰值噪声 400aA,适合微弱信号测量。
动态范围:单量程内可测量 10aA 至 105.5mA 的宽范围电流,避免量程切换误差。
源输出能力
电压源:5μV 至 210V,最大输出功率 2.2W,支持 4 象限操作(电压 / 电流源 / 阱)。
电流源:0.5fA 至 105mA,恒流模式下可设置电压钳位,防止过载。
扫描功能:线性 / 对数阶梯扫描、列表扫描(最多 1000 点)及内存扫描(存储 100 组配置)。
硬件设计与扩展
远程前置放大器
标配 2 米三同轴电缆,将高电平信号传输至主机,减少长引线噪声干扰,支持 1pA 至 100nA 极微弱电流测量。
输入阻抗 >10¹⁴Ω,共模抑制比(CMRR)90dB,有效抑制环境噪声。
接口与控制
通信接口:标配 GPIB(IEEE-488)、RS-232,兼容 SCPI 命令集,可通过 LabVIEW、MATLAB 实现自动化控制。
触发功能:支持外部触发、延迟触发(<2μs)及通过 / 失败判定,适合生产线快速分拣。
数字 I/O:1 路触发输入 + 4 路 TTL / 继电器输出,可独立控制测试流程。
软件与操作
内置工具
数据处理:支持统计计算(均值、标准差)、数学运算(加 / 减 / 乘 / 除)及 11 级极限测试。
多参数显示:同时显示电压、电流、电阻等多个测量值,减少仪器使用数量。
编程支持
驱动与库:提供 LabVIEW 专用库和 TestPoint 驱动,兼容 Keithley 7000 系列开关矩阵。
远程控制:通过 GPIB 或 RS-232 接口实现远程访问,支持网页端操作和数据存储。


