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吉时利(Keithley)
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更新时间:2025-10-30

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吉时利(Keithley)237 高压源测量单元(SMU) 是一款专为高精度、高电压测试设计的四象限程控仪器,可同时提供电压 / 电流源和测量功能,适用于半导体器件特性分析、绝缘电阻测试及微弱信号测量等场景。以下是其核心信息:

1. 核心功能与技术参数

四合一集成设计:

集成 电压源、电流源、电压表、电流表 四种功能,支持同步源输出与测量。

1100 V 高压输出(±1100 V 电压范围),可直接测试高耐压器件(如 MOSFET、IGBT)的击穿特性。

超宽动态范围:

电压测量:10 µV 至 1100 V,分辨率达 10 µV。

电流测量:10 fA 至 100 mA,最小可测 10 fA 级漏电流。

高速脉冲能力:

支持 电压 / 电流扫描(线性、对数或脉冲模式),最高每秒 1000 次源 / 测量操作,适合快速特性分析。

四象限操作:可模拟负载的吸收 / 释放能量过程,适用于电池充放电、电机驱动等动态测试。

低噪声与高稳定性:

本底噪声:电压源噪声低至 50 µV rms(100 V 量程),电流源噪声低至 1 pA rms(100 nA 量程),确保微弱信号测量精度。

负载电容兼容性:可稳定驱动 2000 pF 容性负载,适合测试含寄生电容的器件(如薄膜电容器)。

2. 典型应用场景

半导体器件测试:

高压器件(如功率二极管、绝缘栅器件)的 I-V 特性曲线测量和击穿电压测试。

集成电路(IC)的 ESD 保护结构验证和漏电流分析。

材料科学研究:

绝缘材料(如陶瓷、聚合物)的 绝缘电阻测量(最高达 10¹⁵ Ω)和介电损耗测试。

场发射阴极材料的 微弱电流测量(10 fA 级),例如场发射显示器(FED)的研发。

工业自动化测试:

高压继电器、断路器的 接触电阻测试和寿命验证。

与 4200-SCS 半导体特性分析系统或 707A/708A 开关矩阵配合,构建多通道自动化测试平台。

3. 接口与兼容性

控制接口:

标配 GPIB(IEEE-488)接口,支持 SCPI 指令远程控制,可通过 LabVIEW、Python 等编程环境集成到自动化测试系统。

可选 RS-232 接口(需额外模块),适合工业现场的远程监控。

探头与附件:

专用三同轴电缆(如 7078-TRX-10)可降低噪声干扰,支持高压端的微弱信号测量。

安全互锁电缆(236-ILC-3)用于连接外部保护电路,防止意外高压输出。


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