4156C通常是指Keysight(原Agilent)的精密半导体参数分析仪。以下是其产品详情:
- 功能特性:具备填空式前面板操作,可通过Desktop EasyEXPERT软件在PC上通过GUI对仪器进行控制,能在Windows环境下提供图形数据分析功能,还具有旋钮扫描、待机等功能。
- 测量能力:拥有1fA和0.2mV的测量分辨率,可测量半导体芯片、器件的微电流、电容等参数,能执行准静态电容测量与电压测量,还可使用超低泄漏SMU测量泄漏特性。
- 硬件配置:内置四个高分辨率源/监视器单元(SMU)、两个电压源单元(VSU)和两个电压监控单元(VMU)。可选配41501B扩展器,将测量范围扩展至1A/200V,还可添加低噪声接地单元和双脉冲发生器。
- 应用领域:主要用于半导体材料的电学特性测试,以及MOS器件的I-V、C-V以及器件的可靠性等方面的研究,适用于科研机构、半导体制造企业等的实验室。
- 数据处理:可自动将数据保存到硬盘或任何网络硬盘,也可通过软件进行离线数据分析和应用测试开发,仪器还支持触发模式,允许同步AC/DC测量,配合IBASIC用户函数可绘制和分析数据。


