一、主要特点
模块化设计
主机提供 10 个插槽，支持多种测量模块（如 SMU、CVU、脉冲发生器等），可根据需求灵活配置。
支持多通道并行测试，提升测试效率。
高精度测量
电压分辨率：0.5 μV
电流分辨率：0.1 fA（需搭配高精度 SMU 模块）
支持 1 kHz 至 5 MHz 的多频率电容测量。
超快速测量能力
脉冲宽度：100 ns
采样率：5 ns
可捕获传统仪器无法测量的超快速瞬态现象。
直观操作界面
配备 15 英寸触摸屏，支持图形化操作。
内置 EasyEXPERT group+ 软件，提供 300 多种预置测试应用，简化测试流程。
自动化与扩展性
支持通过 GPIB、USB、LAN 接口实现远程控制。
可与探针台、分选机等设备集成，实现全自动化测试。
二、技术指标
参数 规格
电压测量范围 ±200 V
电流测量范围 0.1 fA 至 1 A（需根据模块选择）
电容测量范围 1 fF 至 10 μF
脉冲发生器 输出电压：±40 V；脉冲宽度：10 ns 至 100 μs
测量速度 最高 1000 点/秒（扫描模式下）
接口 GPIB、USB 2.0、LAN、触发 I/O
