一、主要技术指标
参数 规格
电压范围 ±3 kV(直流偏置)
电流范围 20 A / 500 A / 1500 A(可选)
温度范围 -50°C 至 +250°C(集成 Thermostream 控制)
电容测量频率 1 kHz 至 1 MHz
脉冲宽度 10 μs 至 1000 s
最小分辨率 电流:50 fA(高精度模式)
测量功能 IV、C-V、Qg、功率损耗、热测试
二、硬件配置与安装
主机与模块
主机:提供电源、控制单元及基础接口。
测量模块:
H20:20 A / 3 kV IV 测量。
H50:500 A / 3 kV IV 测量。
H70:1500 A / 3 kV IV 测量。
H21/H51/H71:IV + C-V + Qg 测量(需选配)。
模块扩展:支持最多 4 个模块并行工作。
安装步骤
将主机放置在平稳台面,连接电源并接地。
插入测量模块,确保模块固定牢固。
连接 Thermostream 或热板(如需热测试)。
通过 GPIB、USB 或 LAN 接口连接计算机。
三、软件操作指南
软件启动
启动 EasyEXPERT 软件,选择 B1506A 主机进行连接。
测试流程
选择模块:根据测试需求选择 H20/H50/H70 或 H21/H51/H71 模块。
配置参数:
IV 测试:设置电压/电流范围、扫描步长、脉冲宽度。
C-V 测试:选择频率范围(1 kHz 至 1 MHz)。
Qg 测试:配置栅极驱动电压和电流。
热测试:设置温度范围(-50°C 至 +250°C)。
执行测试:点击“开始”按钮,仪器自动完成测试并显示结果。
数据分析
软件提供图形化结果展示,支持数据导出为 CSV/Excel 格式。
内置报告生成工具,可自定义测试报告模板。


