产品描述：
源/测量单元（smu），如Keysight B1510A (Agilent)，是Agilent / Keysight B1500A半导体器件参数分析仪的关键测量模块。smu将电压/电流源和测量功能集成到一个模块中，可实现精确的直流电流-电压（IV）测量，分辨率低至fA /µV。如果您需要更多的测量性能，可以通过可选的ASU （Atto感测开关单元）将低电流测量性能扩展到亚fa级。
B1510A还可以执行准静态电容电压（QS-CV）测量。它是获得低频CV特性的一种测量方法，对晶体管栅极表面状态的表征以及高频CV的表征都具有重要意义。Keysight B1500A具有泄漏电流补偿功能，可实现精确的QS-CV测量。
产品特点：
MPSMU -范围高达100 V / 100 mA， 4象限操作
最小测量分辨率10 fA / 0.5 μV
最小源分辨率50 fA / 25µV
最大脉冲宽度2秒
可选的ASU （atto-sense和开关单元）支持扩展范围至1pA范围，0.1 fA测量分辨率
