回收蔡司MeRiT光罩修复系统

成色要求:6-7成新，无划痕/无磨损/外观轻微使用痕迹，二手

基础配置:包好。

仪器介绍:蔡司MeRiT系统采用聚焦电子束技术来修复高端光罩，该技术是业内先进设备的代表，通过高端电子腔优化最低能量，实现超小缺陷的修复。 修复对象包括二元光罩 (Binary mask)、移相光罩 (Phase-shift mask)和极紫外光罩 (EUV mask)上透明或不透明的各种形状缺陷。 通过模块化 软件 结合图案复制 (pattern copy)功能，MeRiT系统实现了高度自动化。