一、基础信息
品牌沿革：Keithley 吉时利，隶属于 Tektronix 泰克集团
产品状态：经典多功能微弱信号测量仪器，已停产，二手市场流通量大，支持计量校准
设备定位：独立整机多功能静电计，集成微电流、高阻、电压、电荷四种测量能力；搭载 Triax 三同轴低泄漏输入端口，主打 fA 级超高灵敏度微弱信号采集；前面板配备数字显示屏，支持本地手动操作，兼容程控搭建自动化测试系统
整机形态：标准台式机箱，前面板操作按键；背板三同轴屏蔽测试端子，适配超高阻抗样品低漏电测量
二、核心规格参数
显示分辨率：5½ 位
测量功能参数
电流：100aA ~ 20mA
电压：10μV ~ 200V，输入阻抗＞200TΩ
电阻：10mΩ ~ 200GΩ
电荷：10fC ~ 20μC
读数速率：最高 1200 读数 / 秒
数据缓存：2500 组测量数据存储
通讯接口：GPIB (IEEE488.2)、RS232、多路可编程数字 IO
特色配置：Triax 三同轴 Guard 屏蔽驱动、模拟信号输出、零校验功能
⚠重要区分：6514 无内置高压电压源；升级型号 6517B 集成 ±1000V 内置偏置源
三、核心性能参数
超低输入偏置电流，三同轴屏蔽设计有效抑制线缆漏电流，适合纳米器件、绝缘材料微弱信号测试
一机实现电流、电压、电阻、电荷多参数测量，功能覆盖皮安表基础功能，测试维度更广
超高输入阻抗电压测量，不会对高阻抗被测样品形成负载分流，保障测量真实性
支持外部硬件触发，可联动开关矩阵、探针台、光源实现同步自动化测试
兼容 6512、617 老旧静电计指令，原有测试程序可直接移植
完备硬件保护，搭配多级数字滤波，适配实验室复杂电磁环境稳定测量
四、内置标准测量功能
微弱直流电流测量（fA/pA/nA/mA）
高阻抗直流电压测量
高阻材料电阻测量
微小电荷积分测量
时序连续采集、数据缓存记录
模拟信号实时输出、上下限报警判定
五、硬件接口与操控
前面板：数字显示屏、功能按键、量程切换、输出控制按键
背板：Triax 三同轴输入端子、GPIB、RS232、数字 IO、模拟输出口、电源接口
操控方式：前面板本地手动操作；电脑远程程控控制
安装规格：标准台式机箱，支持 19 英寸机架安装
六、典型应用场景
MOS 器件栅极漏电流、光电探测器暗电流测试
高分子薄膜、绝缘介质、二维材料电阻率测试
压电材料、MEMS 器件电荷特性表征
静电研究、离子束电流监测
高校微电子、凝聚态物理科研实验
