一、基础信息
品牌沿革：Keithley 吉时利，隶属于 Tektronix 泰克集团
产品状态：经典微弱信号测量仪器，6517A 停产，6517B 为主流升级型号，二手流通量大，支持计量校准
设备定位：独立整机多功能静电计 / 高阻测试仪；集成电流、电压、电阻、电荷测量，搭载内置 ±1000V 可编程直流偏置源；背板采用 Triax 三同轴低泄漏输入端口，适配超高阻抗样品微弱漏电测试；支持前面板本地操作，兼容程控搭建自动化测试系统
整机形态：半机架台式机箱，数字显示屏，背板配置三同轴屏蔽测试端子
二、核心规格参数
显示分辨率：5½ 位，可选 6½ 位高精度模式
测量量程
电流：10aA ~ 20mA
电压：10μV ~ 200V，输入阻抗＞200TΩ
电阻：100Ω ~ 1×10¹⁸Ω
电荷：1fC ~ 2μC
内置电压源：0 ~ ±1000V，支持线性电压扫描
读数速率：最高 425 读数 / 秒
数据缓存：50000 组读数存储
通讯接口：GPIB、RS232、数字 IO
特色配置：Triax 三同轴 Guard 屏蔽驱动、模拟输出、温湿度采集接口、硬件过压保护
三、核心性能参数
输入偏置电流＜3fA，极低噪声，三同轴屏蔽结构抑制线缆泄漏电流，适合 fA 级微弱电流测试
自带 1kV 高压偏置源，单台仪器完成高压偏置 + 漏电流采集，自动执行 I-V 扫描、高阻测试
支持电压反转法测量绝缘材料，消除极化电流带来的测量误差
超高输入阻抗电压测量，不会对高阻抗被测器件产生负载分流
可联动开关矩阵、探针台、光源实现同步自动化测试
完备硬件保护，抑制浪涌冲击，防止被测器件击穿损坏
四、内置标准测量功能
微弱直流电流测量（fA/pA/nA/mA）
高阻抗直流电压测量
超高绝缘电阻、材料电阻率测试
微小电荷积分测量
内置电压源输出、线性电压 I-V 扫描
时序连续采集、数据记录、上下限报警
模拟信号实时输出，外接示波器观测电流变化
五、硬件接口与操控
前面板：数字显示屏、功能按键、量程切换、输出控制按键
背板：Triax 三同轴输入端子、GPIB、RS232、模拟输出、数字 IO、电源接口
操控方式：前面板本地手动操作；电脑远程程控控制
安装规格：半机架标准台式机箱，支持 19 英寸机架安装
六、典型应用场景
MOS 器件栅极漏电流、介质薄膜 TDDB 耐压测试
光电探测器暗电流、光伏器件微弱电流表征
高分子材料、陶瓷、二维材料表面 / 体电阻率测试
静电研究、压电材料电荷特性测试
科研实验室高阻抗器件、纳米材料电学表征
