一、产品概述
是德科技 **B1505A 功率器件分析仪 / 曲线追踪仪**，模块化大功率半导体综合表征平台，现已停产是德科技。可完成从亚‑pA 级微弱漏电流，一直到**10 kV 高压、1500 A 超大电流**功率器件全套 IV、CV、栅极电荷 Qg、脉冲、变温可靠性测试；支持封装器件与晶圆级大功率在片测试，是 SiC、GaN 等第三代宽禁带半导体研发主力设备Keysight。
二、核心技术参数
1. 主机插槽：10 插槽模块化平台，可自由选配各类源表模块
2. 最高输出规格（选配模块）：**10 kV / 1500 A**Keysight
3. 最小电流分辨率：10 fA
4. 导通电阻测量精度：μΩ 微欧级分辨率
5. CV 电容测试：最高 3 kV 直流偏置，频率 1 kHz‑5 MHz，测量 Ciss、Coss、Crss
6. 栅极电荷 Qg 测量：最高 3kV 偏置条件下测试
7. 最小脉冲宽度：**10 μs**，抑制器件发热漂移
8. 自动变温测试范围：‑50 ℃ ~ +250 ℃
9. 软件系统：内置 Windows，EasyEXPERT 自动化测试软件
10. 安全配置：高压互锁安全测试夹具
三、关键特性
1. **一体化多参数测试**，IV、CV、Qg、脉冲 IV、变温测试，仪器内部自动切换回路，无需人工重新接线
2. 曲线追踪仪旋钮扫描模式，保留传统图示仪操作习惯，同时具备半导体参数分析仪的高精度
3. 示波器波形视图，实时监控脉冲电压电流波形，防止器件损坏
4. 可扩展超高电流 UHC、超高压 UHV 模块，实现晶圆级 > 200A、10kV 大功率探针台测试
5. 全自动提取器件关键参数：击穿电压 BV、阈值 Vth、导通电阻 Ron、漏电流 Idss 等，自动生成 Datasheet 报告
6. 模块化可升级架构，后期按需增加高压、大电流、电容测量模块
四、典型应用
碳化硅 SiC、氮化镓 GaN、氧化镓宽禁带功率半导体研发；IGBT、大功率 MOSFET、晶闸管、功率二极管参数表征；新能源汽车、光伏、储能功率器件可靠性筛选；晶圆厂大功率器件在片测试；开关电源器件损耗评估。
