是德科技(Keysight) B1517A 高分辨率源测量单元

一、产品概述 是德科技 **B1517A（HRSMU）高分辨率源测量单元**，为 **B1500A 半导体器件分析仪主机** 的单插槽可插拔模块；四象限源‑测一体化，主打**飞安级超微弱电流高精度测量**，支持直流 IV、准静态 QSC‑V 电容‑电压测试，广泛用于纳米器件、MOS 栅极漏电、光电材料、低漏电半导体器件表征。 二、核心技术参数 1. 供电范围：±100 V，±0.1 A（直流） 2. 测量分辨率：**1 fA 电流、0.5 μV 电压**（B1500A 系列所有 SMU 里电流分辨率最高） 3. 可选配件 E5288A（ASU 阿感开关单元）：电流分辨率可拓展至 **100 aA（0.1 fA）** 4. 工作模式：4‑象限源测量，可作为电压源 / 电流源、电压表、电流表、电阻表 5. CV 能力：准静态电容‑电压（QS‑CV），自带漏电流补偿，适合 MOS 电容测试 6. 占用插槽：B1500A 主机 **1 个插槽位** 7. 输出接口：三同轴（Triax）低噪声信号输出，抑制微小电流测量噪声 三、关键特性 1. 飞安级超低本底噪声，专门测量 pA‑fA 级别微弱漏电流 2. 支持 IV‑CV 一键切换测量回路，无需手动更换接线 3. 完美适配 EasyEXPERT 半导体测试软件，内置 MOSFET、二极管、薄膜器件测试模板 4. 三同轴低噪声设计，降低线缆泄露电流带来的测量误差 5. 模块化升级，后期可自由搭配脉冲源、高频电容模块组建多通道半导体测试系统 四、典型应用 MOS 器件栅极漏电测试；纳米材料、碳纳米管、二维半导体微弱电流表征；光电探测器暗电流测量；MOS 电容准静态 CV 测试；存储器件、阻变存储器低功耗漏电筛选；高校实验室微纳器件科研。