吉时利 4200-SMU 中等功率源测量单元

一、基础信息 型号：4200-SMU 设备类型：插入式中等功率 SMU 源测量模块 适配主机：吉时利 4200-SCS / 4200TM 半导体参数分析仪机箱 品牌归属：Keithley 吉时利（现泰克 Tektronix 旗下） 产品状态：停产，二手流通主流模块 区分对比：4200-SMU（中功率 100mA）；4210-SMU（高功率 1A） 二、核心电气参数 输出范围：±210 V，±100 mA，最大功率 2.1 W，四象限工作 分辨率 电压：0.1 μV 基础电流：100 fA；搭配4200-PA 前置放大器可达 10 aA 连接方式：支持开尔文四线法（Force / Sense） 接口：迷你三同轴屏蔽接口，抑制漏电流干扰 测量模式：I-V 线性 / 对数扫描、列表扫描、恒定电压 / 电流输出 三、功能特性 集成电压源、电流源、电压表、电流表一体；同步激励与采集 专为半导体微弱漏电测试优化，内置有源保护屏蔽 模块热插拔，一台 4200 主机最多搭载 9 张 SMU 模块 可配合 KITE 测试软件自动输出 I-V 特性曲线 支持电压 / 电流限值保护，防止被测器件击穿损坏 可与探针台联动，实现晶圆自动化测试 四、典型应用场景 MOSFET、二极管、BJT 晶体管直流 I-V 特性测试 栅极漏电流、绝缘介质高阻漏电测量 光电探测器、传感器、MEMS 器件电学表征 存储器、薄膜材料、二维新材料科研测试 半导体晶圆探针台量产电学筛选