吉时利(Keithley) 4200-SMU 中功率源测量单元

一、产品概述 4200-SMU 是适配4200A-SCS 半导体参数分析仪的标准插件式中功率 SMU 模块，直流四象限源测模块，用于器件静态 I-V 特性测试。具备 fA 级微弱电流测量能力，原生不擅长高容性负载场景，长线缆、探针台等高寄生电容环境优先选用升级款 4201-SMU。仅可搭载在 4200A-SCS 机箱内，不能独立上电运行。 二、核心技术参数 ✅ 模块规格（中功率标准 SMU） 电压范围：±210 V 电流范围：±105 mA 直流最大功率：22 W 基础测量分辨率：电压 0.2 μV；电流低至 100 fA 选配 4200-PA 远端前置放大器：最低测量电流 10 aA 四象限源 / 负载双向工作 迷你三同轴接口（Force、Sense、Sense LO），支持 2 线 / 4 线开尔文远端感应测量 标准负载耐受能力，适合短线缆、低寄生电容测试平台 三、关键特性 标准中功率直流 SMU 模块，一台 4200A-SCS 机箱最多可搭载 9 块； 支持线性扫描、对数扫描、分段列表扫描、应力 - 测量循环测试； 搭配 4200-PA 前置放大器，将微弱电流测量放置探针端，降低线缆泄露误差； 由 Clarius + 软件统一控制，内置 MOSFET、二极管、电容等标准器件测试模板； 可编程过压、过流、过热、静电多重输出保护； 可选现场升级型号 4200-SMU-R，无需返厂即可加装至现有 4200A-SCS 主机。 四、典型应用场景 MOSFET、MOS 电容 I-V 特性、栅漏电测试 二维材料、有机半导体、薄膜材料静态漏电表征 二极管、光电探测器直流电学测试 实验室短线缆测试平台、晶圆器件基础直流特性表征 低寄生夹具下高阻器件精密 I-V 扫描