吉时利(Keithley) 4200-SMU 中功率源测量单元

一、基础信息 品牌沿革：Keithley 吉时利，隶属于 Tektronix 泰克集团 产品状态：4200A‑SCS 半导体参数分析仪专用可插拔中等功率 SMU 模块，支持现场加装扩容，二手市场保有量大，支持计量校准 设备定位：插卡式中等功率标准源测量单元模块，无法独立运行，仅适配 4200A‑SCS 主机；标准款中功率 SMU，用于常规半导体器件、无源器件、光电器件直流 I-V 特性表征，全部操作依托 4200A‑SCS 主机 Clarius + 软件控制 整机形态：机箱插槽式功能插卡，无独立显示屏、操作按键；由 4200A‑SCS 主机统一供电、内部总线通讯 二、核心规格参数 通道配置：单通道独立 SMU 电压范围：±210V 电流范围：±100mA；选配 4200‑PA 前置放大器，最低测量 0.1fA 最大功率：2.1W 测量分辨率：电压 0.2μV，电流 100fA 工作模式：四象限源 / 阱双向输出 测量模式：2 线本地测量、4 线开尔文感应测量 负载特性：标准中功率 SMU；长线缆、高容性负载测试场景优选 4201-SMU 输出端子：Mini‑Triax 三同轴 Force、Sense、Guard 屏蔽端口 通讯方式：背板内部总线和 4200A‑SCS 主机交互 三、核心性能参数 4200A-SCS 系列标准中等功率 SMU，满足绝大多数中小功率半导体器件基础 I-V 测试需求 四象限双向工作，既可输出电压 / 电流激励，也能吸收负载电流充当电子负载，同步采集完整器件 I-V 特性曲线 支持线性扫描、对数扫描、阶梯测试、长时间电压 / 电流应力可靠性测试 搭配 4200‑PA 远程前置放大器，拓展飞安级微弱漏电测量能力 可编程电压、电流软硬双重保护限值，防止被测器件过压、过流击穿 多块模块可同时装入 4200A‑SCS 机箱，实现多引脚器件并行测试 原生兼容半自动 / 全自动探针台，完成晶圆器件自动化电学测试 支持现场加装升级，无需整机返厂改造 四、内置标准测量功能 直流 I-V 正向、反向扫描，器件击穿特性测试 晶体管、二极管漏电流长时间监测 四线制测量消除引线压降误差 器件可靠性应力循环、老化测试 实时曲线绘制、关键参数自动提取、测试数据导出 依托主机 Clarius + 软件脚本开发全自动序列测试流程 五、硬件接口与操控 物理形态：4200A‑SCS 机箱内部可加装插卡模块 前端端口：Mini‑Triax 三同轴屏蔽测量端子（Force HI、Sense HI、Guard、LO） 操控方式：无本地操作控件，全部设置与测试通过 4200A‑SCS 触控屏或远程电脑 Clarius + 软件控制 安装方式：支持现场加装扩容 六、典型应用场景 MOSFET、二极管、三极管等中小功率半导体静态电学 I-V 测试 光电探测器、小型 LED 器件光电特性测试 薄膜材料、阻容无源元器件漏电特性测量 晶圆芯片搭配常规短线缆探针台自动化测试 高校实验室、半导体研发中小器件电学表征